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[设备]扫描电子显微镜SEM

作者:       发布于:2020-12-08 08:50:13       浏览次数:
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68C71

中文名称:

扫描电子显微镜

英文名称:

Scanning electron microscopy system(SEM)

仪器编号:

02015281

仪器型号:

SU3900

生产厂家:

日立公司(HITACHI)

放置位置:

先进制造大楼东楼D104精密测量实验室

实验负责人:

朱老师18908636998、朱老师13308626993

张老师13297940682任老师18064093088

主要功能

可以对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。

工作原理

扫描电镜工作原理如下:由三级电子枪发射出来的电子束,在加速电压的作用下,经过2~3个电子透镜的聚焦后,在样品表面按顺序逐行进行扫描,激发样品产生各种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子X射线、俄歇电子等、这些物理信号的强度随样品表面特征而变。它们分别被相应的收集器接受,经放大器按顺序、成比例放大后,送到显像管的栅极上,用来同步的调制显像管的电子束强度,即显像荧光屏上的亮度。

由于供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源也就是供给阴极射线显像管的扫描线圈的电源,此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。因此,样品上电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。这样,荧光屏上就能形成一幅与样品表面特征相对应的画面——某种信息图,如二次电子像、背散射电子像等。

主要技术参数 及指标:

·SE探头分辨率:3.0nm @ 30KV(WD=5mm);15.0nm @ 1KV(WD=5mm)

·BSE探头分辨率:4.0nm @ 30KV(WD=5mm)

·加速电压:0.3 -30 kV

·样品台驱动:5轴马达电动样品台

·可放样品尺寸:直径300mm,高度130mm。

应用范围:

能对机械工件,有机材料、无机材料以及具有磁性材料等样品进行表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理等;具有高性能X射线能谱仪,能同时进行样品表面的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。

应用示例:

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